Necesitas partir de una tabla de datos más o menos como la siguiente:
Columna ID: el identificador de tu estación
Columna X: la coordenada X de tu estación
Columna Y: la coordenada Y de tu estación
Columna DATO: el valor de % de humedad
Cada fila en dicha tabla será cada una de tus estaciones donde tienes datos de humedad. Esos datos de humedad pueden ser la media de un cierto año, la media de un mes, valores diarios... etc. Sea como fuere, puedes generar distintas tablas (una será de los valores de la media anual, otra de los valores del mes tal... lo que te interese).
Con una tabla similar a la descrita puedes añadirla a ArcGIS y usar la herramienta
Geostatistical Analyst. Concretamente su asistente
Geostatistical Wizard, donde podrás elegir diferentes métodos de interpolación de datos para generar una capa
raster a partir de tu tabla de datos.
Si ves la siguiente captura, hay una tabla añadida y en la parte de "Input data" eliges la tabla, indicas los campos X e Y y el campo "Data field" que sería el que tenga la humedad. Luego puedes elegir entre los diferentes métodos de interpolación y seguir el asistente, donde ya deberías investigar un poco cuáles son los más recomendados y con qué parámetros para el caso que te ocupa.
CULEBRAS GIS